常用的超临界流体有：二氧化碳、乙烯、乙烷、丙烷、三氯甲烷等。

超临界流体是温度、压力高于其临界状态的流体，通常把处于温度超过临界温度而不论其压力和密度是否超过临界值状态的流体都归之为超临界流体。超临界流体具有许多独特的性质，如粘度小、密度、扩散系数、溶剂化能力等性质随温度和压力变化十分敏感：粘度和扩散系数接近气体，而密度和溶剂化能力接近液体。