离子泵的工作原理，在2个平面阴极之间是一个蜂窝状的阳极结构。所加磁场垂直于阴极板，并平行于蜂房的轴。电子围绕磁力线作螺旋运动，使气体分子电离，电离产生的电子接着使其它气体分子电离。在碰撞过程中，电子交出能量，并逐渐向阳极移动。正离子则加速向由钛制成的负极移动。离子与钛互作用，至少发生3种抽气作用。