母公司设立全资子公司是指母公司在国内或国外设立一家新公司，该公司的全部股本由母公司持有。母公司设立全资子公司的流程包括以下几个步骤：

制定计划和方案
母公司需要制定设立全资子公司的计划和方案，包括子公司的经营范围、注册资本、法定代表人、董事会成员等。这些方案需要根据当地的法律法规和行业规定进行制定。

申请公司名称和注册地址
母公司需要在当地工商部门申请公司名称和注册地址。在申请公司名称时，需要注意遵守当地的公司命名规定，避免与已有公司名称重复。

注册资本的出资
母公司需要按照设立全资子公司的注册资本比例出资，注册资本可以是货币、实物、知识产权等形式。

办理工商营业执照
母公司需要在当地工商部门办理工商营业执照，取得营业执照后，子公司才能正式开展业务。

开立银行账户
母公司需要在当地银行为子公司开立银行账户，以便子公司进行资金结算和管理。

办理税务登记
母公司需要在当地税务部门办理税务登记，取得税务登记证后，子公司才能正式纳税。

注册资本验资
母公司需要在设立全资子公司后的一定时间内，对子公司的注册资本进行验资，确保注册资本已经全部到位。

申请营业执照和税务登记证
在子公司正式开展业务前，母公司需要在当地工商部门和税务部门申请营业执照和税务登记证。